潔凈室(亦稱無塵室)是一種空氣懸浮粒子濃度受控的房間。
它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生滯留粒子。
室內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。
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